一塔半导体是一家宽禁带半导体先进制程设备研发生产商,专注于宽禁带半导体先进制程设备的研发和生产。已成功研发外延生长系统(MOCVD)和退火系统(激光退火/RTP),公司拥有多项技术方案,包括自主创新SiC/GaN外延生长方案,快速热处理(RTA)、热氧化(RTO)、热氮化(RTN)、离子注入退火、金属合金、功率芯片背面激光退火等解决方案,持有69项技术和软件著作,包括闭环温度控制系统和惰性气体屏障技术。近日,一塔半导体完成数千万Pre-A轮融资,投资方为合肥海恒科创产投基金及相关产业投资人,此轮融资资金主要用于MOCVD外延系统和RTP快速热处理系统设备的研发、生产制造和销售。